一、背景

由于芯片短缺問(wèn)題和近2年海運(yùn)擁堵和成本上升等因素，致使全球資本對(duì)于芯片制造工廠的投入增大，而中興、華為的例子已經(jīng)凸顯出國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的重要性，除去地緣政治上的意義，發(fā)展半導(dǎo)體其實(shí)是中國(guó)經(jīng)濟(jì)的轉(zhuǎn)型的必走之路。

半導(dǎo)體生產(chǎn)是一種高度復(fù)雜的工藝，涉及數(shù)百個(gè)工序。由于尺寸特殊且非常精密，幾乎無(wú)法手動(dòng)生產(chǎn)集成電路。此外，生產(chǎn)對(duì)純度、潔凈度和功能性提出了嚴(yán)格要求。因此，半導(dǎo)體工廠需要高度自動(dòng)化、智能互聯(lián)、模塊化且靈活的生產(chǎn)理念，物聯(lián)網(wǎng)RFID技術(shù)推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)的自動(dòng)化發(fā)展，提高芯片企業(yè)產(chǎn)能！

二、方案介紹

方案一：RFID在半導(dǎo)體車間AGV搬運(yùn)機(jī)器人的應(yīng)用

在半導(dǎo)體車間實(shí)現(xiàn)無(wú)人化運(yùn)輸管理，采用AGV小車進(jìn)行物料運(yùn)輸，將RFID讀寫(xiě)器安裝在AGV小車底部，在運(yùn)輸軌道節(jié)點(diǎn)部署RFID載碼體，當(dāng)AGV小車經(jīng)過(guò)軌道節(jié)點(diǎn)時(shí)，讀寫(xiě)器自動(dòng)采集載碼體信息，實(shí)時(shí)掌握物料的運(yùn)輸情況及其往哪個(gè)生產(chǎn)工序運(yùn)輸。

方案二：RFID半導(dǎo)體產(chǎn)線的應(yīng)用

將RFID讀寫(xiě)器部署在機(jī)械手臂，晶圓盒部署RFID載碼體，當(dāng)機(jī)械手臂開(kāi)始工作時(shí)，讀寫(xiě)器自動(dòng)采集載碼體信息，及時(shí)了解是什么產(chǎn)品、如何加工、何時(shí)加工，并跟蹤晶圓在加工流程中的具體位置，可顯著減少晶圓的供應(yīng)時(shí)間，并充分減少該工序的工作量，倉(cāng)儲(chǔ)管理系統(tǒng)將RFID的信息與生產(chǎn)控制系統(tǒng) (MES) 的信息關(guān)聯(lián)在一起，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所有晶圓。

方案三：RFID在半導(dǎo)體晶元儲(chǔ)存柜的應(yīng)用

將RFID讀取器部署在儲(chǔ)存柜承載平臺(tái)支撐板下方，將RFID載碼體安裝至晶圓盒，當(dāng)晶圓進(jìn)入儲(chǔ)存柜時(shí)，RFID讀取器識(shí)別RFID載碼體來(lái)監(jiān)測(cè)拾放物料期間晶圓的儲(chǔ)存位置。因此，必要時(shí)可立即找到所有儲(chǔ)存的晶圓。

三、設(shè)備配置

1、JY-L8800 AGV RFID讀卡器

JY-L8800是一款專為AGV小車設(shè)計(jì)的RFID地標(biāo)讀卡器，采用扁長(zhǎng)型外觀設(shè)計(jì)，可靈活安裝，避免在AGV小車在行走偏離或特殊場(chǎng)景拐彎時(shí)漏讀。內(nèi)部?jī)r(jià)集成了射頻部分通信協(xié)議，無(wú)需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議，使用簡(jiǎn)單，只需通過(guò)RS232/RS485通信接口便可完成標(biāo)簽數(shù)據(jù)的讀取操作。支持FDX-B、EMID兩種格式標(biāo)簽的讀取，波特率最高可配置115200。

JY-L8800 AGV RFID讀卡器性能參數(shù)

2、JY-V640半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器

JY-V640是面向半導(dǎo)體制造業(yè)開(kāi)發(fā)的半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器，采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式，支持SECS協(xié)議和Modbus RTU協(xié)議，符合世界SEMI標(biāo)準(zhǔn)，兼容TI公司產(chǎn)的CID載體，具有出色的讀寫(xiě)可靠性和耐環(huán)境性，支持外部光電開(kāi)關(guān)的IO信號(hào)觸發(fā)讀卡。

JY-V640半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器性能參數(shù)

3、JY-V610半導(dǎo)體RIFD讀取器

JY-V610半導(dǎo)體RFID讀取器小巧輕便，可靈活安裝。支持134.2kHz工作頻率，采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式，支持標(biāo)準(zhǔn)Modbus RTU協(xié)議，內(nèi)部集成射頻部分通信協(xié)議，使用操作簡(jiǎn)單，無(wú)需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議。

JY-V610半導(dǎo)體RIFD讀取器性能參數(shù)

四、實(shí)施效益

1，避免人為原因?qū)е路胖玫母叨纫约皵?shù)量有限，更加精準(zhǔn)利用空間；

2，避免人工帶來(lái)出錯(cuò)、耗時(shí)等問(wèn)題；

3，可以跟蹤所有的物料流；

4，及時(shí)掌握晶圓芯片的存取情況；

5，減少污染，保持晶圓潔凈；

6，提升半導(dǎo)體行業(yè)自動(dòng)化管理水平。